PHI 710扫描俄歇纳米探针是一种独特的，高性能的俄歇电子能谱AES仪器，提供元素和化学状态信息，从样品表面和纳米尺度的特征，薄膜和界面。作为一款高性能的俄歇，PHI 710提供了卓越的俄歇成像性能、空间分辨率、灵敏度和光谱能量分辨率，以满足您最苛刻的AES应用。

独特的技术

同轴电子枪和分析仪的几何形状提供了灵敏度和无障碍的视觉，需要充分表征存在于大多数真实世界样品上的微观结构。

从颗粒的所有侧面和颗粒之间获得的俄歇数据具有同样高的灵敏度，为俄歇图提供了有意义的成分信息。

无分析仪诱导阴影的纹理或弯曲样品成像

超级俄歇成像

高性能电子光学，精密样品处理，先进的振动和热隔离为纳米级俄歇成像和分析提供了优越的环境

工作倍率500000倍以上

鲁棒图像配准无人值守的自动微区分析

纳米级薄膜分析

浮动柱离子枪提供了广泛的深度剖面分析能力

更高的离子束能量（2-5 keV）允许几微米厚的结构可以常规深度剖面

使用较低的加速电压可以减少溅射混合，从而可以在超薄（< 5nm）薄膜结构中扩大观察到的界面