Thermo Scientific™ Nexsa™ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 系统能提供全自动、高通量的多技术分析，并可保持研究级结果的高质量水平。ISS、UPS、REELS、拉曼等多种分析技术集于一身，用户因此能够进行真正意义上的相关性分析，从而为微电子、超薄膜、纳米技术开发以及许多其他应用进一步取得进展释放潜能。

Nexsa 能谱仪具有灵活性，可zui大限度地发挥材料潜能。在使结果保持研究级质量水平的同时，以多重整合技术选项的形式提供灵活性，从而实现真正意义上的相关性数据分析和高通量。

标准化功能催生强大性能：

绝缘体分析

高性能光谱

深度剖析

多技术整合

双模式离子源，使深度剖析功能得到扩展

用于 ARXPS 测量的倾斜模块

用于仪器控制、数据处理和报告的 Avantage 软件

小光斑分析

可选的升级：可将任何全自动化集成技术添加到您的分析中。触动按钮即可运行。

ISS：在离子散射光谱技术中，一束离子可被某物体表面散射

UPS：紫外光电子能谱是指对吸收了紫外光子的分子所发射的光电子动能谱进行测量，以确定化合价区域中的分子轨道能量

拉曼：能谱技术在化学领域被用于提供结构指纹

REELS：反射电子能量损失谱

借助 SnapMap 的光学视图，聚焦于样品特征。光学视图可以帮助您快速定位感兴趣区域，同时生成完全聚焦的 XPS 图像，以进一步定义您的实验。

X 射线照射样品上的一个小区域。

收集来自这一小区域的光电子并将其聚焦于分析仪

随着镜台的移动，不断采集能谱

在整个数据采集过程中监测镜台位置，这些位置用来生成 SnapMap